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廣州南創(chuàng)廠家供稱重傳感器、壓力傳感器和位移等傳感器
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微型加速度傳感器 首頁 > 微型加速度傳感器

微型加速度傳感器原理是什么? 微型加速度傳感器是微型傳感器的分支,歸屬于微機電技術(shù)領(lǐng)域,長期以來都是熱門且具備現(xiàn)實意義的研究課題。選用微機電技術(shù)的微型加速度傳感器使用期限長、成本低、體積重量小,綜合性能大大優(yōu)于常規(guī)的加速度傳感器,不論在民用還是軍用領(lǐng)域都有著廣泛地應(yīng)用。

下面我們以常用的兩種微型加速度傳感器為例,來講解一下微型加速度傳感器的原理。

一、壓阻式微型加速度傳感器

工作原理為壓阻效應(yīng),即在一塊半導(dǎo)體的某一軸向施加一定的應(yīng)力時其電阻率產(chǎn)生變化的情況。當有加速度輸入時,懸臂梁在產(chǎn)品質(zhì)量塊受到的慣性力帶動下產(chǎn)生形變,導(dǎo)致固連的壓阻膜也隨著產(chǎn)生形變,其電阻值由于壓阻效應(yīng)產(chǎn)生變化,導(dǎo)致壓阻兩端的檢測電壓值產(chǎn)生變化,進而可以通過確定的數(shù)學(xué)模型推導(dǎo)出輸入加速度與輸出電壓值的關(guān)系。做為最早出現(xiàn)的微型加速度傳感器,具備結(jié)構(gòu)、加工工藝簡單,接口電路易于實現(xiàn)的優(yōu)勢。

二、電容式微型加速度傳感器

的工作原理為位移變化引起電容變化。產(chǎn)品質(zhì)量塊上配置有檢測電容的一個極板,當有加速度功能時,產(chǎn)品質(zhì)量塊產(chǎn)生位移,上下電容產(chǎn)生變化,根據(jù)電容變化差值可以獲得加速度。電容式微型加速傳感器靈敏度和測量精度高,產(chǎn)品穩(wěn)定性能好,溫漂小、功耗低。電容扭擺式工作原理與電容式相同,結(jié)構(gòu)不同,其產(chǎn)品質(zhì)量塊是不對稱的,通過扭轉(zhuǎn)軸與底座相連,底座表面有固定電極,產(chǎn)品質(zhì)量塊表面有相應(yīng)的運動電極,當有加速度功能時,不對稱的產(chǎn)品質(zhì)量塊在慣性作用下繞扭轉(zhuǎn)軸產(chǎn)生轉(zhuǎn)動。

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